灣區(qū)時(shí)訊 11月15日,，第二十五屆高新技術(shù)成果交易會（高交會）在深圳會展中心舉辦。北京中科科儀股份有限公司作為中國尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)領(lǐng)軍者攜其全資子公司科儀光電（原中科科儀電鏡事業(yè)部）受邀出席,，其核心產(chǎn)品掃描電子顯微鏡及國產(chǎn)真空設(shè)備解決方案精彩亮相,。

相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡原理

在展會現(xiàn)場，科儀光電帶來了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8100,。據(jù)了解,，該款掃描電鏡是中科科儀承擔(dān)科技部國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應(yīng)用”研制成果的一部分。該設(shè)備目前已完成科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化落地,，并形成批量銷售,，深受各行業(yè)用戶好評，為教學(xué),、科研和經(jīng)濟(jì)發(fā)展服務(wù),，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。

場發(fā)射槍掃描電鏡是納米技術(shù),、生物技術(shù),、醫(yī)學(xué)、化學(xué),、物理學(xué)研究的重要工具，在半導(dǎo)體集成電路加工,、微機(jī)電系統(tǒng),、微型傳感器等信息技術(shù)支撐領(lǐng)域和環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域也發(fā)揮著重要作用，廣泛應(yīng)用于金屬,、陶瓷,、礦物、冶金,、高分子,、復(fù)合材料、微生物,、新能源材料的表面形貌進(jìn)行觀察及微區(qū)的點(diǎn),、線、面成分分析,；同時(shí),，場發(fā)射槍掃描電鏡在蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定,、刑事偵察,、產(chǎn)品質(zhì)量鑒定等方面也有廣泛的應(yīng)用，對于我國的基礎(chǔ)科學(xué)研究,、生產(chǎn)工藝控制,、各分類學(xué)科的研究有著不可替代的重要地位。

針對基礎(chǔ)科學(xué)研究和高精尖工業(yè)制造對國產(chǎn)場發(fā)射槍掃描電鏡的迫切需求,，2013年,，中科科儀牽頭，聯(lián)合北京大學(xué),、中國科學(xué)院微電子研究所,、中國科學(xué)院生物物理研究所、國家環(huán)境分析測試中心,、清華大學(xué)等單位,，承擔(dān)國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應(yīng)用”，在2014年成功推出了國內(nèi)首臺肖特基場發(fā)射槍掃描電鏡KYKY-EM8000,，并在此基礎(chǔ)上提升電子光學(xué)系統(tǒng)綜合性能,，于2017年推出了國產(chǎn)高端場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100，分辨率優(yōu)于0.9nm@30kV,，3nm@1kV,，解決了高分辨率電子光學(xué)成像系統(tǒng)、系統(tǒng)集成調(diào)試等關(guān)鍵技術(shù),，成為國內(nèi)首創(chuàng),、達(dá)到國際同類產(chǎn)品技術(shù)水平、具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的肖特基場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡,。

KYKY-EM8100場發(fā)射掃描電鏡的技術(shù)優(yōu)勢主要有以下三個(gè)方面：

第一,，自主設(shè)計(jì)制造了低像差物鏡。研發(fā)團(tuán)隊(duì)利用電子光學(xué)仿真軟件對透鏡結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真研究,，獲得了最佳幾何結(jié)構(gòu)參數(shù),，并通過突破高飽和磁感應(yīng)強(qiáng)度材料的高精度加工工藝和熱處理工藝，滿足了場發(fā)射槍掃描電鏡磁透鏡加工的設(shè)計(jì)要求及工作性能要求,，大幅提升呈像質(zhì)量與準(zhǔn)確性,。

第二，突破了電子束鏡筒加速技術(shù),。低能電子束在電子光學(xué)鏡筒中運(yùn)行時(shí),，周圍環(huán)境磁場、振動等對其會產(chǎn)生干擾明顯,。針對這一問題,，研發(fā)團(tuán)隊(duì)攻破了電子束鏡筒加速技術(shù),，解決了低能電子束在電子光學(xué)鏡筒中運(yùn)行時(shí)抗干擾能力大大降低問題，保障了低加速電壓下的高質(zhì)量成像,。

第三,，自主研制了電子光學(xué)智能化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了自動燈絲加熱,、自動偏壓,、自動孔徑角、自動聚焦,、自動亮度/對比度等電子光學(xué)智能化控制功能,，還實(shí)現(xiàn)了圖像增強(qiáng)、圖像銳化,、樣品尺寸測量,、形貌擬合、顆粒密度分析等功能,，大大提升了產(chǎn)品的功能性與使用便捷性,，助力打好科技儀器設(shè)備國產(chǎn)化攻堅(jiān)戰(zhàn)。

通訊員/王楨楠

責(zé)任編輯/劉秀